Das LUXORAu ist ein fortschrittlicher, vollautomatischer Sputter Coater, der eine feinkörnige Goldschicht von 1 bis 100 nm Dicke aufträgt. So erhalten Sie die bestmögliche Qualität der REM-Abbildung Ihrer Proben.

Die einzigartige A²-Technologie von LUXOR erzeugt ein kontrolliertes Plasma im Prozessgas. In dem Plasma werden Ionen mittels Hochspannung beschleunigt und auf das Gold-Target gelenkt. Feinste Gold-Atomcluster werden dadurch aus dem Target herausgelöst und beschichten Ihre Proben auf präzise Weise, was zu einer extrem gleichmäßigen, dünnen und homogenen Goldschicht führt.

Der LUXORAu ist für seine einfache Handhabung und schnelle, problemlose Bedienung bekannt.

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Technologie

Das LUXORAu wird für REM-Aufnahmen bis zu 100.000-facher Vergrößerung empfohlen. Die Metallisierung mit Gold verbessert die hochauflösendene Abbildung von nicht- bzw. schwach leitfähigen Proben mit dem Elektronenmikroskop signifikant.

Der Sputter Coater verbessert die Emission von Sekundärelektronen. Durch das verbesserte Signal-/Rausch-Verhältnis können die Detektoren des Mikroskops mehr hochauflösende Details wahrnehmen.

Ein weiterer Vorteil ist die geringere Strahldurchdringung, die die Ortsauflösung im Rückstreumodus deutlich verbessert. Außerdem wird dadurch verhindert, dass empfindliche Proben beschädigt werden.

Vorteile

OPTIMIERTE BEDIENOBERFLÄCHE

Der LUXORAu ist bemerkenswert einfach zu bedienen. Über den eingebauten Touchscreen lässt sich der Beschichtungsprozess mit wenigen Klicks starten.

ÜBERRAGENDE BESCHICHTUNGSQUALITÄT

Praxistests zeigen eindeutig, dass das LUXORAu im Vergleich zu anderen Beschichtungsgeräten auf dem Markt homogenere und feinkörnigere Goldschichten erzeugt. Darüber hinaus gewährleistet die A²-Technologie identische, reproduzierbare Beschichtungsergebnisse, Tag für Tag und Jahr für Jahr.

OPTIMIERTE PROZESSE & EFFIZIENZ

Das LUXORAu ist in der Lage, bis zu sechs Proben in einem Durchgang zu bearbeiten. Das Verfahren der Goldbeschichtung ist nicht nur sehr präzise, sondern auch bemerkenswert schnell.

ERHÖHTER SCHUTZ FÜR IHR REM

Das einzigartige hängende Beschichtungsverfahren des LUXORAu sorgt dafür, dass lose Partikel während des Beschichtungsprozesses abfallen werden. Auf diese Weise ist Ihr REM zusätzlich geschützt.

ROBUSTES DESIGN, MADE IN GERMANY

Trotz seiner geringen Dimensionen und seines eleganten Aussehens ist das LUXORAu ein robustes, widerstandsfähiges Gerät. Es ist für eine intensive Nutzung und einen problemlosen Betrieb über viele Jahre hinweg ausgelegt.

Funktionen und Spezifikationen

  • Gold-Beschichtung im Luft- oder Argon-Plasma
  • Maximale Probenkapazität: 7 x Ø 25 mm oder 3 x Ø 25 mm REM-Probenteller
  • Mittlere Prozesszeit (10 nm Gold): ca. 5 Minuten
  • Zusätzliche Evakuierungs- und Trocknungsfunktion
  • Leistungsstarke 2-stufige Drehschieberpumpe für kurze Prozesszeiten
  • Evakuierungs- und Vakuumtrocknungsmodus: 7 bis 150 Pa (im Prozess stufenlos regulierbar)
  • Prozessdauer vorwählbar: 1 bis 600 Minuten
  • Beschichtungsdicke vorwählbar: 1 bis 100 nm (in 0,1 nm-Schritten)
  • Rezipient: Borosilikat-Glas Ø 100 mm x 150 mm Höhe
  • PET-Implosionsschutz: Ø 120 mm x 150 mm Höhe
  • Vakuum-Anchluss: DN 16 KF
  • Anschluss Prozessgas: Argon oder Luft (max. 60.000 Pa, 0,6 Bar)
  • Maße (BxLxH): 340 mm x 340 mm x 290 mm
  • Gewicht (ohne Pumpe): 11,0 kg
Vakuumpumpe
  • Kann separat als „Pumpen-Set“ geordert werden. Beinhaltet
  • 1 x Zweistufige Drehschieberpumpe mit einer Vakuumleistung von 4,8 m³/h
  • 1 x Vakuum-Metallwellschaluch, DN 16 KF, Länge 1m
  • 2 x DN 16 KF Spannklammern und 2 x Zentrierdichtringe DN 16 KF
  • 1 x Ölnebelfiter DN 16 KF