Die einzigartige A²-Technologie von LUXOR erzeugt ein kontrolliertes und homogenes Plasma. Das Ergebnis ist eine extrem gleichmäßige, dünne und homogene Gold- oder Platinschicht auf Ihren REM-Proben.
Die LUXOR-Sputter Coater sind für ihre Schnelligkeit und Benutzerfreundlichkeit bekannt. Sie gewährleisten hochwertige REM-Bilder auch bei anspruchsvollen Proben wie elektronenstrahl-empfindlichen und nichtleitenden Materialien.
A²-TECHNOLOGIE
Die einzigartige A²-Technologie von LUXOR erzeugt ein kontrolliertes und homogenes Plasma. Dies wird erreicht, indem in der Prozesskammer ein Vakuum erzeugt und dann eine Hochspannung angelegt wird. Anschließend wird der Beschichtungsstrom automatisch reguliert, indem kleine Mengen Prozessgas in die Kammer geleitet werden, bis der eingestellte Zielstrom erreicht und stabilisiert ist.
Die einzigartige Art und Weise, wie dieser Prozess gesteuert und eingestellt wird, unterscheidet die LUXOR Metallbeschichter von anderen handelsüblichen Geräten. Für dem REM-Anwender bedeutet dies eine deutlich homogenere Metallbeschichtung in einem automatischen Prozess ohne erforderlichen manuellen Benutzereingriff, die für hochauflösende und kontrastreiche Bildern sorgt.
HÄNGENDE BESCHICHTUNG
Bei den LUXOR-Metallbeschichtern werden die Proben auf dem Kopf stehend montiert. Dies mag auf den ersten Blick etwas widersinnig erscheinen, ist aber tatsächlich eine Folge unseres Ansatzes „Form folgt Funktion“.
Das Upside-Down-Konzept bringt folgende Vorteile mit sich:
Erstens sind alle Hochspannungs- und Hochstromdrähte sicher innerhalb der Sputtervorrichtung verborgen, was eine optimale Arbeitssicherheit gewährleistet.
Zweitens ist die Probenladestation denkbar leicht zugänglich und ermöglicht das Platzieren oder Entnehmen der Proben, ohne dass spezielle Zangen oder Pinzetten benötigt oder die Probenkammer zerlegt werden muss. Das erleichtert nicht nur die tägliche Arbeit, sondern erhöht auch die Produktivität.
Die hängende Probenbeschichtung sorgt dafür, dass lose Partikel während des Beschichtungsprozesses von den Proben abfallen. So wird Ihr Elektronenmikroskop zusätzlich vor Kontamination geschützt.
VOLLSTÄNDIG AUTOMATISIERT
Der Beschichtungsprozess ist vollständig automatisiert. Sobald Ihre Proben geladen sind, müssen Sie nur noch die gewünschte Schichtdicke auswählen und den Startknopf drücken.
Dank dieses benutzerfreundlichen Verfahrens werden Bedienfehler nahezu ausgeschlossen. Außerdem bedeutet dies, dass auch ungeschulte Personen das Gerät sicher bedienen können.
LUXOR SputterCoater gewährleisten eine genaue Reproduzierbarkeit von Beschichtungsdicken. Dies ist wichtig für die Vergleichbarkeit von REM-Aufnahmen und Analysen.
Vorteile der metallischen Beschichtung
– Reduziert die Strahlschädigung
– Reduziert den Wärmeeintrag in die Probe (durch Erhöhung der Leitfähigkeit)
– Reduziert sichtbare Aufladung (durch Erhöhung der Leitfähigkeit)
– Optimiert die Emission von Rückstreu- und Sekundärelektronen (Signal-/Rausch-Verhältnis)
– Reduziert die Eindringtiefe des Elektronenstrahls, und optimiert somit die Ortsauflösung des Rückstreusignals
– Schützt elektronenstrahl-empfindliche Proben
ANWENDUNGEN
