Die einzigartige A²-Technologie von LUXOR erzeugt ein kontrolliertes und homogenes Plasma. Das Ergebnis ist eine extrem gleichmäßige und reproduzierbare Gold- oder Platinschicht auf Ihren REM-Proben.
Die LUXOR-Sputter Coater sind für ihre Schnelligkeit und ihre Benutzerfreundlichkeit bekannt. Sie gewährleisten hochwertige REM-Bilder, auch bei anspruchsvollen Proben, wie elektronenstrahl-empfindlichen und nichtleitenden Materialien.
A²-TECHNOLOGIE
Die einzigartige A²-Technologie von LUXOR erzeugt ein kontrolliertes und homogenes Plasma. Dies wird erreicht, indem im Rezipienten ein Vakuum erzeugt, anschließend eine kleine Menge Prozessgas (Argon) in den Rezipienten eingeleitet und dann eine Hochspannung angelegt wird. Während des Beschichtungsvorganges steuert die Elektronik automatisch Vakuum, Spannung und Strom und sorgt für einen stabilen und kontrollierten Beschichtungsprozess.
Für Ihre REM-Anwendung bedeutet dies eine deutlich homogenere, artefaktfreie und reproduzierbare Metallbeschichtung.
Die einzigartige Art und Weise, wie dieser Prozess gesteuert wird, unterscheidet die LUXOR Metallbeschichter von anderen handelsüblichen Geräten. Manuelles Überwachen und Nachsteuern ist überflüssig und ermöglicht einen sorgenfreien, automatischen Beschichtungsprozess.
HÄNGENDE BESCHICHTUNG
Bei den LUXOR-Metallbeschichtern werden die Proben hängend beschichtet . Dies mag auf den ersten Blick etwas kontrovers erscheinen, ist aber tatsächlich eine Folge unseres Ansatzes „Form folgt Funktion“.
Das Upside-Down-Konzept bringt folgende Vorteile mit sich:
Sicherheit: Keine Hochspannungs- und Hochstromdrähte außerhalb des Gerätegehäuses. Dies sorgt für eine optimale Arbeitssicherheit, verbessert die elektromagnetische Verträglichkeit und erhöht die Lebensdauer des Systems.
Einfache Probenmontage: Die Probenpositionierung ist denkbar leicht zugänglich und ermöglicht das Befestigen oder Entnehmen der Proben, ohne dass spezielle Zangen oder Pinzetten benötigt werden. Die optimale Zugänglichkeit erleichtert nicht nur die tägliche Arbeit, sondern erhöht auch die Produktivität.
Schutz vor Kontamination: Die hängende Probenbeschichtung sorgt dafür, dass lose Partikel während des Beschichtungsprozesses von der Proben abfallen können. Das schützt Ihr Elektronenmikroskop zusätzlich vor Kontamination.
VOLLSTÄNDIG AUTOMATISIERT
Der Beschichtungsprozess ist vollständig automatisiert. Sobald Ihre Proben geladen sind, müssen Sie nur noch die gewünschte Schichtdicke auswählen und den Startknopf drücken.
Dank dieses benutzerfreundlichen Verfahrens werden Bedienfehler nahezu ausgeschlossen. Außerdem bedeutet dies, dass auch ungeschulte Personen den Sputter Coater sicher bedienen können.
LUXOR SputterCoater gewährleisten eine genaue Reproduzierbarkeit von Beschichtungsdicken. Dies ist wichtig für die Vergleichbarkeit von REM-Aufnahmen und Analysen.
Wechselwirkung des Elektronenstrahls mit der Probenoberfläche
Je höher die gewünschte Auflösung am REM, desto größer ist der Energieeintrag durch den Elektronenstrahl in das REM-Scanfeld auf Ihrer Probe. Wenn Ihre Probe nicht oder nur schwach leitfähig ist, baut sich im Scanfeld der Probe ein negatives Potenzial (das bis zu mehreren tausend Volt betragen kann) auf, das nicht oder nur langsam gegen Masse abfließen kann. Dieses negative Potenzial im Scanfeld stört den primären Elektronenstrahl und den Bildgebungsprozess an den Detektoren. Im Extremfall erreicht der primäre Elektronenstrahl die Probenoberfläche nicht. Bei der EDX-Analyse lässt sich die Aufladung daran erkennen, dass die Zählraten schon deutlich vor Erreichen der maximalen Beschleunigungsspannung im Spektrum gegen Null gehen.
Vorteile der metallischen Beschichtung
– Leitet die überschüssigen Primärelektronen Richtung Masse ab
– Reduziert Aufladungs-Artefakte auf der Probenoberfläche
– Erhöht die Wärmeableitung (durch Erhöhung der Leitfähigkeit)
– Optimiert die Emission von Rückstreu- und Sekundärelektronen (Signal-/Rausch-Verhältnis)
– Reduziert die Eindringtiefe des Elektronenstrahls, und optimiert somit die Ortsauflösung des Rückstreusignals
– Schützt elektronenstrahl-empfindliche Proben
– Macht oxidationsempfindliche Proben lagerfähig (Gold/Platin)
Beschichtungsmaterial und -dicken
Für die Optimierung von REM-Aufnahmen von nicht oder schwach leitfähigen Proben ist die Herstellung einer leitfähigen Schicht auf der Probenoberfläche hilfreich. Dazu werden, je nach Sputtermaterial Schichtdicken von wenigen Nanometern auf der Probe aufgetragen. Die erforderliche Schichtdicke ergibt sich aus dem verwendeten Targetmaterial.
Merke: Niedrigschmelzende Metalle erzeugen größere Korngrößen (Cluster) als hochschmelzende. Gold ca. 2,5 nm, Platin ca. 0,5 nm.
Deshalb eignet sich Gold für REM-Auflösungen bis ca. 100.000-fach. Für höhere Auflösungen ist Platin empfohlen. Für eine ausreichende Leitfähigkeit muss eine Beschichtungsstärke von mindestens 3 Korngrößen erzeugt werden. Damit die Beschichtung auch wirksam ist, muss die Metallschicht gegen die Masse des Elektronenmikroskops kontaktiert sein.
ANWENDUNGEN
