Zubehör
Das einzigartige Design der LUXOR SputterCoater ermöglicht eine einfache Adaption von Zubehör für spezielle Anwendungen oder besondere Anforderungen der Probenfixierung. Wenn Sie Ideen für neues Zubehör oder Funktionen haben, die Sie gerne in unseren Produkten implementiert sehen würden, zögern Sie nicht, uns diese mitzuteilen.
STANDARD PROBENHALTER
Der stabile LUXOR Standard Probenhalter in der schweren Ausführung wird standardmäßig als Zubehör mit jedem LuxorAu oder LuxorPt ausgeliefert.
Er kann gleichzeitig 7 x Ø 12.5 mm or 3 x Ø 25 mm oder 1 x Ø 100 mm Stiftprobenteller aufnehmen.
Mit seinen drei Elastomerfüßen ist er als Probenvorbereitungstisch entwickelt und gewährleistet einen sicheren Stand. Die darin vorbereiteten und positionierten Proben müssen nicht mehr bewegt werden, womit ist eine nahtlose Probenvorbereitung gewährleistet ist.
FIXIEREINHEIT FÜR SCHLIFFE
Die Montage von Schliffen ist mit dieser Fixiereinheit denkbar einfach. Mittels Madenschrauben wird der Schliff plan montiert. Es sind keine Justagen oder Umbauten am SputterCoater erforderlich. Ein einheitlicher Arbeitsabstand ist für die Reproduzierbarkeit von Schichtdicken immer gewährleistet.
Diese LUXOR-Fixiereinheit eignet sich für runde Schliffe mit Dimensionen ab ca. 25 mm bis 40 mm und einer Höhe von ca. 10 mm bis 50 mm.
PROBENHALTER FÜR ZYLINDRISCHE PROBEN
Der LUXOR Probenhalter für zylindrische Proben ist zur Aufnahme zylindrischer Probenträger mit Ø 9, 12 und 25 mm entwickelt worden. Diese Probenträger (’stubs‘) werden oft in HITACHI oder JEOL Elektronenmikroskopen verwendet. Dieser Halter hat 3 Positionen, in denen verschiedene Kombinationen dieser zylindrischen Probenträger beschichtet werden können.
VERBRAUCHSMATERIAL
Die Targets für LuxorPT und LuxorAu können innerhalb einer Minute werkzeuglos gewechselt werden.
Unsere Targets werden installationsfertig auf einem Kunststoffträger mit einem zentralen Verbindungsstecker geliefert. Dieses spezielle Design verhindert sogenanntes „Bridging“*, so dass die Targets über ihre gesamte Nutzungsdauer problemlos verwendet werden können.
Die Größe der Targets:
Ø 30 mm
Dicke 100 µm
99.999% Reinheit
LUXOR platinum target
für LuxorPt
LUXOR gold target
für LuxorAu und LuxorPt
LUXOR Gold-Palladium Target
(Au 80% – Pd 20%)
für LuxorAu und LuxorPt
Wie lange halten Targets?
Die Anzahl der Zyklen ist abhängig von der gewählten Schichtdicke pro Sputtervorgang. Die Schichtdicke ist bei LuxorAu und LuxorPt zwischen 1 nm und 50 nm wählbar. Multipliziert mit 5 entspricht dies etwa dem tatsächlichen Abtrag des Targets pro Sputterzyklus.
LuxorPt und LuxorAu SputterCoater arbeiten mit vollautomatischen Prozessparametern, so dass die Schichtdicke reporduzierbar und der Targetabtrag gut kalkulierbar ist. Die Targets können nicht vollständig verbraucht werden, da sie bei zu dünner Restdicke nicht mehr stabil sind. Verbrauchte Targets erkennt man an entstehenden Löchern in der Targetfolie.
Deshalb rechnen wir:
- bei 50 nm Schichtdicke pro Zyklus mit max. 400 Beschichtungsvorgängen und
- bei 1 nm Schichtdicke pro Sputtervorgang mit max. 8.000 Zyklen.