Zubehör
Das einzigartige Design der LUXOR SputterCoater ermöglicht eine einfache Adaption von Zubehör für spezielle Anwendungen oder besondere Anforderungen der Probenfixierung. Wenn Sie Ideen für neues Zubehör oder Funktionen haben, die Sie gerne in unseren Produkten implementiert sehen würden, zögern Sie nicht, uns diese mitzuteilen.
STANDARD FIXIEREINHEIT
Eine stabile LUXOR Fixiereinheit in schwerer Ausführung wird standardmäßig mit jedem LuxorAuund LuxorPt mitgeliefert.
Die Fixiereinheit kann gleichzeitig bis zu 7 x Ø 12.5 mm, bzw. 3 x Ø 25 mm Stiftprobenteller oder bis zu 1 x Ø 100 mm große Stiftprobenteller für die Metallbeschichtung aufnehmen.
Durch die drei Elastomerfüße ist sie als Probenvorbereitungs-Plattform konzipiert und sorgt für gute Standsicherheit. Ein Umstecken der vorbereiteten Proben entfällt. Somit eignet sie sich bestens für eine einwandfreie Probenvorbereitung.
FIXIEREINHEIT FÜR SCHLIFFE
Die Montage von Schliffen ist mit dieser Fixiereinheit denkbar einfach. Mittels Madenschrauben wird der Schliff plan montiert. Es sind keine Justagen oder Umbauten am SputterCoater erforderlich. Ein einheitlicher Arbeitsabstand ist für die Reproduzierbarkeit von Schichtdicken immer gewährleistet.
Diese LUXOR-Fixiereinheit eignet sich für runde Schliffe mit Dimensionen ab ca. 25 mm bis 40 mm und einer Höhe von ca. 10 mm bis 50 mm.
FIXIEREINHEIT FÜR ZYLINDRISCHE PROBEN
Der LUXOR Fixiereinheit für zylindrische Probenstümpfe ist für die Aufnahme von zylindrischen Stümpfen mit den Durchmessern 9, 12 und 25 mm konzipiert. Diese Stümpfe werden häufig in Elektronenmikroskopen von HITACHI und JEOL verwendet. Dieser Halter hat 3 Positionen, in denen verschiedene Kombinationen von zylindrischen Stümpfen mit 9, 12 und 25 mm Durchmesser beschichtet werden können.
VERBRAUCHSMATERIAL
Targets für LuxorPt und LuxorAu können ohne Werkzeug innerhalb einer Minute getauscht werden.
Unsere Targets werden einbaufertig auf einem Kunststoffsockel mit zentralem Anschlussstecker geliefert. Die spezielle Bauform verhindert die so genannte Brückenbildung*, so dass Sie die Targets störungsfrei über den gesamten Nutzungszeitraum einsetzen können.
Falls der SputterCoater nicht genutzt wird, können Sie das Target entnehmen und sicher verwahren.
Die Targetdimensionen:
Ø 30 mm
Dicke 100 µm
Die Reinheit beträgt 99,999%
LUXOR platinum target
für LuxorPt
LUXOR gold target
für LuxorAu und LuxorPt
LUXOR Gold-Palladium Target
(Au 80% – Pd 20%)
für LuxorAu und LuxorPt
Wie lange halten Targets?
Die Anzahl der Zyklen ist abhängig von der gewählten Schichtdicke pro Sputtervorgang. Die Schichtdicke ist bei LuxorAu und LuxorPt zwischen 1 nm und 50 nm wählbar. Multipliziert mit 5 entspricht dies etwa dem tatsächlichen Abtrag des Targets pro Sputterzyklus.
LuxorPt und LuxorAu SputterCoater arbeiten mit vollautomatischen Prozessparametern, so dass die Schichtdicke reporduzierbar und der Targetabtrag gut kalkulierbar ist. Die Targets können nicht vollständig verbraucht werden, da sie bei zu dünner Restdicke nicht mehr stabil sind. Verbrauchte Targets erkennt man an entstehenden Löchern in der Targetfolie.
Deshalb rechnen wir:
- bei 50 nm Schichtdicke pro Zyklus mit max. 400 Beschichtungsvorgängen und
- bei 1 nm Schichtdicke pro Sputtervorgang mit max. 8.000 Zyklen.