Das LUXORPt ist ein fortschrittlicher, vollautomatischer Sputter Coater, der eine ultra-feinkörnige Platin- oder eine sehr feinkörnige Goldschicht von 1 bis 100 nm Dicke aufträgt.
Die einzigartige A²-Technologie von LUXOR erzeugt ein kontrolliertes Plasma im Prozessgas. In dem Plasma werden Ionen mittels Hochspannung beschleunigt und auf das Platin- bzw. Gold-Target gelenkt. Feinste Atomcluster werden dadurch aus dem Target herausgelöst und beschichten Ihre Proben auf präzise Weise, was zu einer extrem gleichmäßigen, dünnen und homogenen, elektrisch leitfähigen Beschichtung führt.
Der LUXORPt ermöglicht mit einer Platin-Beschichtung die bestmögliche Bildqualität mit Ihrem REM.
Technologie
Dank des fortschrittlichen Designs des Sputter-Coaters ist eine Turbomolekularpumpe – traditionell ein komplizierter und anfälliger Teil eines hochauflösenden Platin-Coaters – nicht mehr erforderlich. Stattdessen verwendet der LUXOR Pt eine effiziente und robuste zweistufige Pumpe.
Der LUXORPt Sputter Coater wird hauptsächlich für die ultrahochauflösende (FE-)SEM-Bildgebung bsi Vergrößerung bis 1.000.000 x eingesetzt, bei denen die Probenaufladung ein Problem darstellt. Das LUXOR Pt gewährleistet die Beschichtung von REM-Proben mit nur wenigen Nanometern Platin oder Gold mit extrem kleiner Korngröße. Das Ergebnis sind scharfe, klare REM-Bilder.
Der Sputter-Coater ist so konzipiert, dass er die Sekundärelektronenemission verbessert, so dass die Detektoren des Mikroskops mehr hochauflösende Bilddetails erfassen können. Schließlich verbessert die reduzierte Strahldurchdringung die Ortsauflösung und verhindert, dass empfindliche Proben beschädigt werden.
Mit seinen fortschrittlichen Spezifikationen und Funktionen bietet der LUXORPt eine hohe Produktivität und ist bemerkenswert einfach zu bedienen.
Vorteile
ÜBERRAGENDE BESCHICHTUNGSERGEBNISSE
Forschungs- und Praxistests zeigen, dass das LUXORPt im Vergleich zu anderen Platinbeschichtungsgeräten außergewöhnlich homogene Platin- und Goldbeschichtungen erzeugt, und das bei Verwendung einer robusten zweistufigen Pumpe. Darüber hinaus stellt unsere A²-Technologie sicher, dass die Beschichtungsergebnisse über einen sehr langen Zeitraum hinweg konstant sind.
OPTIMIERTE BEDIENOBERFLÄCHE
OPTIMIERTE PROZESSE & EFFIZIENZ
Das LUXORPt ist in der Lage, bis zu sechs Proben in einem Durchgang zu bearbeiten. Das Verfahren der Platin- bzw. Goldbeschichtung ist nicht nur sehr präzise, sondern auch bemerkenswert schnell.
ERHÖHTER SCHUTZ FÜR IHR REM
Das einzigartige hängende Beschichtungsverfahren des LUXORPt sorgt dafür, dass lose Partikel während des Beschichtungsprozesses abfallen werden. Auf diese Weise ist Ihr REM zusätzlich geschützt.
ROBUSTES DESIGN, MADE IN GERMANY
Trotz seiner geringen Dimensionen und seines eleganten Aussehens ist das LUXORPt ein robustes, widerstandsfähiges Gerät. Es ist für eine intensive Nutzung und einen problemlosen Betrieb über viele Jahre hinweg ausgelegt.
Funktionen und Spezifikationen
- Platin- oder Gold-Beschichtung im Argon-Plasma (Gold in Luft möglich)
- Maximale Probenkapazität: 7 x Ø 25 mm oder 3 x Ø 25 mm REM-Probenteller
- Mittlere Prozesszeit (2 nm – 4 nm platin): ca. 4 – 5 Minuten
- Mittlere Prozesszeit (10 nm Gold): ca. 5 Minuten
- Zusätzliche Evakuierungs- und Trocknungsfunktion
- Leistungsstarke 2-stufige Drehschieberpumpe für kurze Prozesszeiten
- Evakuierungs- und Vakuumtrocknungmodus: 7 bis 150 Pa (im Prozess stufenlos regulierbar)
- Beschichtungsdicke vorwählbar: 1 bis 100 nm (in 0,1 nm-Schritten)
- Prozessdauer vorwählbar: 1 bis 600 Minuten
- Rezipient: Borosilikat-Glas Ø 100 mm x 150 mm Höhe
- PET-Implosionsschutz: Ø 120 mm x 150 mm Höhe
- Vakuum-Anchluss: DN 16 KF
- 1 x Anschluss für Prozessgas: Argon oder Luft (max. 60.000 Pa = 0,6 Bar)
- Maße (BxLxH): 340 mm x 340 mm x 290 mm
- Gewicht (ohne Pumpe): 12,5 kg
VAKUUMPUMPE
- Kann separat als „Pumpen-Set“ geordert werden. Beinhaltet
- 1 x Zweistufige Drehschieberpumpe mit einer Vakuumleistung von 4,8 m³/h
- 1 x Vakuum-Metallwellschlauch, DN 16 KF, Länge 1m
- 2 x DN 16 KF Spannklammern und 2 x Zentrierdichtringe DN 16 KF
- 1 x Ölnebelfiter DN 16 KF