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EINFÜHRUNG IN DIE METALLBESCHICHTUNGSTECHNIK FÜR DIE ELEKTRONENMIKROSKOPIE
Dieses Dokument soll dem Leser einen Einblick in die Technik der Sputterbeschichtung zur Probenvorbereitung geben, die in Elektronenmikroskopie (EM)-Labors weltweit in großem Umfang eingesetzt wird.
Obwohl die Sputterbeschichtung als Probenvorbereitungstechnik für die Elektronenmikroskopie gut bekannt und akzeptiert ist, sind die Feinheiten dieser Technik nicht immer gut bekannt. Dieses Dokument gibt Ihnen einen Einblick in die verschiedenen Aspekte, Grundprinzipien und Parameter der Sputterbeschichtung.
Danach können Sie lesen, wie die LUXOR-Ingenieure diese Elemente genutzt und angepasst haben, um die neue Generation der LUXOR-Metall-Sputterbeschichtungsanlagen zu entwickeln.
Der Inhalt der 4 Kapitel sieht wie folgt aus:
Teil 1: Ladungseffekte in der Elektronenmikroskopie und wie man sie vermeiden kann
Teil 2: Grundlegende Prinzipien der Sputterbeschichtung
Teil 3: Wie verschiedene Parameter den Sputterbeschichtungsprozess beeinflussen
Teil 4: Die LUXOR A2-Technologie: SEM-Beschichtung leicht gemacht
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